PHOTONIS USA INC.
P.O.Box 550,Sturbridge, MA 01566 USA
Tel.: 1-800-648-1800 Fax:(508)-347-3849

URL: http://www.photonis.com

　
Advanced Performance Detectors

このﾃﾞｨﾃｸﾀｰは、いくつかの部品やそれぞれの目的に合った性能を達成するために最適に調整されたｻﾌﾞｱｯｾﾝﾌﾞﾘから構成されています。
ｻﾌﾞｱｯｾﾝﾌﾞﾘには、MCPS、真空用ｲﾝﾀｰﾌｪｰｽ、ｼﾝｸﾞﾙｱﾉｰﾄﾞ、ﾏﾙﾁｱﾉｰﾄﾞ、ﾚｼﾞｽﾃｨﾌﾞｱﾉｰﾄﾞ(RAES)あるいはﾌｫｽﾌｧｰｽｸﾘｰﾝの読み込みﾃﾞｨﾊﾞｲｽが含まれます。

ﾃﾞｨﾃｸﾀｰ及びﾃﾞｨﾃｸﾀｰｱｯｾﾝﾌﾞﾘは、次のもので可能です。

MCP― ｱｯｾﾝﾌﾞﾘされたものを交換するために、何もﾏｳﾝﾄされていないﾏｲｸﾛﾁｬﾝﾈﾙﾌﾟﾚｰﾄです。

CEMA(Channel Electron Multiplier Array)―
標準のﾊｳｼﾞﾝｸﾞあるいは、ｶｽﾀﾑﾃﾞｻﾞｲﾝのﾊｳｼﾞﾝｸﾞに取りつけられたｼﾝｸﾞﾙﾏｲｸﾛﾁｬﾝﾈﾙﾌﾟﾚｰﾄﾃﾞｨﾃｸﾀｰです。 　このCEMAﾃﾞｨﾃｸﾀｰは、一般的にｱﾅﾛｸﾞ測定に用いられ、ｹﾞｲﾝは104あり信号測定においては十分なｹﾞｲﾝを持っています。
これらのﾃﾞｨﾃｸﾀｰを使用することで、微弱信号測定においてよりよい結果を得ることができます。

ChevronTM―
標準のﾊｳｼﾞﾝｸﾞあるいは、ｶｽﾀﾑﾃﾞｻﾞｲﾝのﾊｳｼﾞﾝｸﾞに取りつけられた2-ｽﾃｰｼﾞﾏｲｸﾛﾁｬﾝﾈﾙﾃﾞｨﾃｸﾀｰで、ﾁｬﾝﾈﾙﾊﾞｲｱｽ角度が反対になるように配置してあります。　ｼｪﾌﾞﾛﾝﾃﾞｨﾃｸﾀｰは一般に、ｹﾞｲﾝが106から107を必要とするﾊﾟﾙｽｶｳﾝﾃｨﾝｸﾞ測定に使用されます。ｼｪﾌﾞﾛﾝﾃﾞｨﾃｸﾀｰは、ﾌｫｽﾌｧｰｽｸﾘｰﾝなどと組み合わせて使用するときに、CEMAﾃﾞｨﾃｸﾀｰよりも位置分解能は低くなります。しかし電荷分割あるいはRise time ｴﾝｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞして位置情報を得るﾚｼﾞｽﾃｨﾌﾞｱﾉｰﾄﾞ様に電荷分布の平均の中心を求め場合はｼｪﾌﾞﾛﾝがより適しています。

Z-Stack (three MCPS)―
MCPを3枚ﾁｬﾝﾈﾙﾊﾞｲｱｽ角度を互い違いに配置し、ｹﾞｲﾝを108に高めそしてﾊﾟﾙｽﾊｲﾄﾃﾞｨｽﾄﾘﾋﾞｭｰｼｮﾝを狭くします。この狭いﾊﾟﾙｽﾊｲﾄﾃﾞｨｽﾄﾘﾋﾞｭｰｼｮは、電気回路のﾀﾞｲﾅﾐｯｸﾚﾝｼﾞが低くでき、信号系を簡単にし、ｺｽﾄ低下につながります。


標準のCEMAとChevronﾃﾞｨﾃｸﾀｰｱｯｾﾝﾌﾞﾘは、有効径18mmから120mmまであり、それぞれに合ったｻｲｽﾞのﾒﾀﾙｱﾉｰﾄﾞやﾌｫｽﾌｧｰｽｸﾘｰﾝを組合すことができます。ﾌｧｲﾊﾞｰｵﾌﾟﾃｨｸｽﾌｫｽﾌｧｰは、ﾃﾞｨﾃｸﾀｰからの信号を電気から光に変換し、そして2次元ｲﾒｰｼﾞを得るためのものです。またさまざまなｱﾌﾟﾘｹｰｼｮﾝに対応するために、ｵﾌﾟｼｮﾝとして色々ありますのでお問い合わせください。
(オプションの内容については Advanced Performance Detectors Selection Guideをご覧ください。)

　
　一般的な電気配線


Typical CEMA electrical connections.



Typical Chevron electrical connections.

　
　 　
　MCP/メタルアノード検出器

　円形　アッセンブリ
モデル 寸法(mm) MCP 仕様
A B C ｸｵﾘﾃｨ ﾎﾟｱ径 ﾊﾞｲｱｽ角 最小OAR 6.4mm ｾﾝﾀｰﾎｰﾙ EDR
6018MA/3018MA 41.91 35.05 18 ﾃﾞｨﾃｸｼｮﾝ 10μm 5° 55％ N/A OP
6025MA/3025MA 50.80 44.45 25 ﾃﾞｨﾃｸｼｮﾝ 10μm 12° 55％ N/A OP
ﾃﾞｨﾃｸｼｮﾝ 25μm 8° 50％ OP OP
6040MA/3040MA 63.5 57.15 40 ﾃﾞｨﾃｸｼｮﾝ 10μm 8° 55％ N/A OP
ﾃﾞｨﾃｸｼｮﾝ 25μm 8° 50％ OP OP
6075MA/3075MA 116.84 105.41 75 ﾃﾞｨﾃｸｼｮﾝ 25μm 8° 50％ OP OP
＊　6000シリーズは、CEMA(1MCP）
＊　3000シリーズは、CHEVRON(2MCPs）

　

　短形　アッセンブリ
モデル 寸法(mm) MCP 仕様
A B C H ｸｵﾘﾃｨ ﾎﾟｱ径 ﾊﾞｲｱｽ角 最小OAR EDR
6508MA/3508MA 69.85 31.75 50 8 ﾃﾞｨﾃｸｼｮﾝ 25μm 8° 50％ OP
6115MA/3115MA 152.40 45.2 100 15 ﾃﾞｨﾃｸｼｮﾝ 25μm 8° 50％ OP


　
　MCP/フォスファースクリーン検出器
モデル 真空ﾌﾗﾝｼﾞ
O.D		 MCP 仕様
ｸｵﾘﾃｨ 有効径(mm) ﾎﾟｱ径 ﾊﾞｲｱｽ角 最小OAR EDR
6025FM 4.5" ｲﾒｰｼﾞﾝｸﾞ 25 10 μm 12° 55％ OP
3025FM 4.5" ｲﾒｰｼﾞﾝｸﾞ 25 10 μm 12° 55％ OP
6040FM 6" ｲﾒｰｼﾞﾝｸﾞ 40 10 μm 8° 55％ OP
3040FM 6" ｲﾒｰｼﾞﾝｸﾞ 40 10 μm 8° 55％ OP
6075FM 8" ｲﾒｰｼﾞﾝｸﾞ 75 25 μm 8° 50％ OP
3075FM 8" ｲﾒｰｼﾞﾝｸﾞ 75 25 μm 8° 50％ OP
(1)　真空フランジ： SHV×3、BSHV×1　フィードスルー付。
全モデル真空フランジ無し可。
(2)　ゲート用バイアスインタープレート： オプション。
(3)　フォスファ： P20フォスファは標準。P11,P47はオプション。
(4)　特別コーティング： 20〜200nm帯域−CsI,CuI,MgF2。
0.2〜9keV帯域、軟X線−KBｒはオプション。
(5)　CCDカメラカップリング： オプション





Electro Imaging Detector

この検出器は、25ｍｍのフォスファースクリーン付MCPアッセンブリ(APD 3025FM 12/10/12 I 60:1 P20)にCCDカメラを取り付けたもので、出力信号方式はIEAですので信号方式に対応するビデオモニターに接続するだけで簡単にイメージ像をリアルタイムで観察することが出来ます。　又、フレームグラバとソフトもありますのでコンピュータに簡単に接続してご使用できます。


　Advanced Hight Quality Detector の例

　
The flange mounted Advanced Performance Detector for TOF applications is designed with a 50 ohm impedance mached readout for positive ion detection and an easy to repace MCP cartridge.

　
The Miniature Low-Profile Detector is a highly efficient design with a center hole for primary beam pass through for use in Scanning Electron Microscopy and Focused Ion Beam semiconductor applications.

　
The array detector for magnetic mass spectrometry enables simultaneous capture of the entire spectrum.
　

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